机械法超细粉碎工艺一般是指制备粒度分布小于或等于10μm的粉碎和分级工艺。它可以分干法和湿法两种类型。
目前工业上彩用的超细粉碎单元作业(即超细粉碎)有以下几种工艺流程。

一、开路流程。一般扁平或盘式、循环管式等气流磨因具有自行分级功能，常采用这种开路工艺流程。这种工艺流程的优点是工艺简单。但是，对于不具备自行分级功能的超细粉碎机（细碎机），不能及时地分出合格的超细粉体产品，因此，一般产品的粒度分布范围较宽。

二、闭路流程。其特点是分级机与超细细碎机构成超细粉碎精细分级闭路系统。其优点是能及时地分出合格的超细超细粉体产品，因此，可以减轻微细颗粒的团聚和提高超细粉碎作业效果。

三、带预先分级的开路流程。其特点是物料在进入细碎机之前先经分级，细粒级物料直接作为超细粉体产品，粗粒级物料再进入细碎机粉碎。当给料中含有较多的合格粒级超细粉体时，采用这种工艺流程可以减轻细碎机的负荷，降低单位超细粉产品的能耗，提高工作效率。

四、带预先分级的闭路流程。这种工艺流程实际上是闭路粉碎和带预先分级的开路粉碎。这种组合作业不仅有助于提高粉碎效率和降低单位产品能耗，还可以控制产品的粒度分布。

五、带较终分级的开路流程。这种粉碎工艺流程的特点是可以在粉碎机后设置一台或多台分级机，从而得到两种以上不同细度及粒度分布的产品。

六、带预先分级和较终分级的开路流程。这种细碎工艺实际上是带预先分级的开路粉碎和带较终分级的开路粉碎的组合，这种组合作业不仅可以预先分离出部分合格细粒级产品以减轻细碎机的负荷，而且后设的最终分级设备可以得到两种以上不同细度及粒度分布的产品。